工作時，傳感器通入高頻電流，線圈周圍產生高頻磁場，接近探頭端部的金屬表面在高頻磁場的感應下產生感應電渦流，電渦流對其周邊產生電渦流磁場，該磁場方向與探頭磁場方向相反，兩個磁場疊加改變探頭線圈的阻抗。探頭與被測軸表面間距越小，電渦流越大，探頭線圈的阻抗越小，探頭線圈兩端的電壓下降。阻抗在激勵電流、頻率和材質磁導率不變的條件下，僅與探頭端面與金屬表面的間隙有關。與探頭配套的前置放大器接受探頭阻抗信號，并將其放大、轉換為所要的電信號。
傳感器集成了信號發射器和接收器線圈系統，它們以印刷線圈的形式被地印制在電路板上。發射信號線圈由高頻交流磁場激活并與位置塊（諧振器）相互感應產生一個RLC的感應電路。因此，諧振器與接收線圈形成電感式耦合。在布有接收信號線圈的位置，電壓的變化由諧振器與線圈的感應而引起。
如果直線位移傳感器的電子尺在作業的進程傍邊，在某一點的閃現數據有規矩地跳動，或許是沒有閃現數據的時分，出現這種情況就需要檢查聯接線絕緣是不是出現破損的表象，并且跟機器的外殼很有規矩地接觸而致使的對地短路。
設備直線位移傳感器的對中性需要，可是平行度可以容許有±0.5mm的過失，角度可以容許有±12°的過失?？墒侨绻叫卸冗^失和角度過失都是偏大的話，這樣會出現閃現數字跳動的情況。那么出現這樣的情況的時分，有必要要對平行度和角度進行調整了。
